半導體
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 粉塵 | 熱反應 | 可燃氣體pumping | 推薦産品 |
| ALD | Y | Y | Y | Y | Y | GHC |
| PECVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| LPCVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| SACVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| MOCVD | Y | Y | Y | GHC | ||
| MetalEtch | Y | Y | GHC |
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
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應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 推薦産品 | 備注 |
| IMPsource | Y | GMR | ||
| Strip/Ashing | GMR | |||
| OxideEtch | Y | GMR | ||
| PolyEtch | Y | GMR | ||
| MetalEtch | Y | Y | GMR | 用于6寸與8寸Feb |
| HDP | Y | GMR |
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 推薦産品 |
| loadlock | GLR | |
| Transfer | GLR | |
| PVD | GLR | |
| Coater | Y | GLR |
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝，并且可靠性高，使用成本極低
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示、LED、锂電和太陽能光伏等行業
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