幹式真空泵
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝，并且可靠性高，使用成本極低
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示、LED、锂電和太陽能光伏等行業
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝；
● 可靠性高，使用成本極低；
● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。
● GS系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于太陽能光伏等
| 分類 | 工藝 | 冷凝 | 熱解 | 粉塵 | 推薦産品 |
| 拉晶 | 拉晶 | Y | GS-S系列 | ||
| 電池片 | PECVD | Y | GS系列 | ||
| ALD | Y | Y | GS系列 | ||
| LPCVD | Y | GS系列 |
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用 的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
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