新型一體爪式真空泵 GS系列
分類 | 工藝 | 冷凝 | 熱解 | 粉塵 | 推薦産品 |
拉晶 | 拉晶 | Y | GS-S系列 | ||
電池片 | PECVD | Y | GS系列 | ||
ALD | Y | Y | GS系列 | ||
LPCVD | Y | GS系列 |
- 詳細描述
- 規格參數
-
- 商品名稱: 新型一體爪式真空泵 GS系列
● GS系列幹泵,可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程,并且可靠性高,使用成本極低。 ● 适合多樣化市場,廣泛應用于太陽能光伏等 <table border="1" cellpadding="0" cellspacing="0" width="100%"> <tbody> <tr> <td style="text-align: center;"><strong>分類</strong></td> <td style="text-align: center;"><strong>工藝</strong></td> <td style="text-align: center;"><strong>冷凝</strong></td> <td style="text-align: center;"><strong>熱解</strong></td> <td style="text-align: center;"><strong>粉塵</strong></td> <td style="text-align: center;"><strong>推薦産品</strong></td> </tr> <tr> <td style="text-align: center;">拉晶</td> <td style="text-align: center;">拉晶</td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;">Y</td> <td style="text-align: center;">GS-S系列</td> </tr> <tr> <td rowspan="3" style="text-align: center;">電池片</td> <td style="text-align: center;">PECVD </td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;">Y</td> <td style="text-align: center;">GS系列</td> </tr> <tr> <td style="text-align: center;">ALD</td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;">Y</td> <td style="text-align: center;">Y</td> <td style="text-align: center;">GS系列</td> </tr> <tr> <td style="text-align: center;">LPCVD</td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;"> </td> <td style="text-align: center;">Y</td> <td style="text-align: center;">GS系列</td> </tr> </tbody> </table> <img src="static/picture/a35a892a-ae1c-453a-991d-3fca454a0fcf.jpg" alt="圖片名稱" title="圖片名稱">
● GS系列幹泵,可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程,并且可靠性高,使用成本極低。
● 适合多樣化市場,廣泛應用于太陽能光伏等外形尺寸
型号Model
長(mm)
寬(mm)
高(mm)
GS1800
901
442
787
GS1800H
901
442
787
GS3000
1240
580
966
GS5000
1240
580
966
GS6000
1125
517
969
-
技術參數
型号
Model最大抽速
m3/h極限真空
(mbar)進氣口徑
ISO排氣口徑
NW電源電壓
V額定功率
kW運行功率
kW冷卻水
L/min氮氣
slm電源輸入
接口重量
kg噪音
dB(A)GS1800
1800
0.005
ISO160
NW40
380~480
12
3.5
7
96
HK-004
480
<70 GS1800H
1800
0.005
ISO160
NW40
380~480
12
4.7
7
96
HK-004
485
<70 GS3000
3300
0.005
ISO160
NW40
380~480
18.5
7.3
12
44~96
H2MK-002
908
<70 GS5000
4480
0.005
ISO200
NW40
380~480
18.5
7.3
12
44~96
H2MK-002
948
<70 GS6000
5500
0.005
ISO250
NW40
380~480
18.5
7.3
12
46~133
H2MK-002
955
<70 抽速曲線
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