多級羅茨真空泵 GMR系列
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝；
● 可靠性高，使用成本極低；
● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。
詳細描述
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝；可靠性高，使用成本極低；
● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 推薦産品 | 備注 |
| IMPsource | Y | GMR | ||
| Strip/Ashing | GMR | |||
| OxideEtch | Y | GMR | ||
| PolyEtch | Y | GMR | ||
| MetalEtch | Y | Y | GMR | 用于6寸與8寸Feb |
| HDP | Y | GMR |
技術參數
| 型号 | 最大抽速 | 極限真空 | 進氣口徑 | 排氣口徑 | 電源電壓 | 額定功率 | 運行功率 | 冷卻水 | 氮氣 | 重量 | 噪音 |
| Model | （m3/h） | (mbar) | （ISO） | （NW） | （V） | （kW） | （kW） | （L/min） | （slm） | （kg） | dB(A) |
| GMR200 | 210 | ＜1×10-2 | 63 | 25 | 208/380 | 1.9 | 0.7 | 1.9 | 22-44 | 140 | ＜70 |
| GMR600 | 610 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 3.8 | 1.3 | 2.1 | 44-96 | 260 | ＜70 |
| GMR1200 | 1050 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 3.8 | 1.6 | 2.1 | 44-96 | 260 | ＜70 |
産品尺寸
| 型号Model | 長（mm） | 寬（mm） | 高（mm） |
| GMR200 | 695 | 290 | 430 |
| GMR600 | 785 | 390 | 790 |
| GMR1200 | 785 | 390 | 790 |
抽速曲線
微信公衆号
北京通嘉宏瑞科技有限公司
電話: 010-86229784
總部地址: 北京市通州區馬駒橋鎮科創十五街1号院
河北基地：河北省廊坊市固安縣南開發區環保産業園4号樓
湖北基地：湖北黃岡市黃州區華海大道1号
浙江基地：紹興市濱海新區瀝海街道繁榮路11号越興科技園6号樓
深圳基地：深圳市坪山區蘭竹東路8号多彩工業園2棟
無錫基地：無錫市錫山經濟技術開發區蓉洋一路3号6号樓
上海基地：上海市浦東新區畢升路299弄富海商務苑9号樓
闵行基地：上海市闵行區綏江路99号金地威新達闼人工智能創新産業基地4号樓