液晶
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 粉塵 | 可燃氣體pumping | 推薦産品 |
| PECVDSiN | Y | Y | Y | GHC | |
| PECVDSiON | Y | Y | Y | Y | GHC |
| PECVDSiO2 | Y | Y | Y | GHC | |
| MetalEtch | Y | Y | GHC | ||
| Non-MetalEtch | Y | GHC |
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
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應用挑戰及應用領域
| 分類 | 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 粉塵 | 頻繁pumping | 推薦産品 |
| light | PVD | Y | GLR系列 | |||
| LL/TC | Y | GLR系列 | ||||
| 蒸鍍 | Y | GLR系列 | ||||
| Lami貼合 | Y | GLR系列 | ||||
| harsh | PECVD | Y | Y | GHC系列 | ||
| ETCH | Y | Y | GHC系列 | |||
| coater | PHOTO | Y | GLR-P系列 |
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝。
● GHC系列幹泵，可應用于苛刻工藝制程，并且可靠性高，使用成本低。
● GLR及GHC系列幹泵适合多樣化市場，廣泛應用于FPD/LED等行業。
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● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝。
● GHC系列幹泵，可應用于苛刻工藝制程，并且可靠性高，使用成本低。
● GLR及GHC系列幹泵适合多樣化市場，廣泛應用于FPD/LED等行業。
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