新型一體爪式真空泵 GHC系列
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
詳細描述
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 腐蝕 | 粉塵 | 熱反應 | 可燃氣體pumping | 推薦産品 |
| ALD | Y | Y | Y | Y | Y | GHC |
| PECVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| LPCVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| SACVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
| MOCVD | Y | Y | Y | GHC | ||
| MetalEtch | Y | Y | GHC |
技術參數
| 型号 | 最大抽速 | 極限真空 | 進氣口徑 | 排氣口徑 | 電源電壓 | 額定功率 | 運行功率 | 冷卻水 | 氮氣 | 重量 | 噪音 |
| Model | (m3/h) | (mbar) | (ISO) | (NW) | （V） | （kW） | （kW） | (L/min) | （slm） | （kg） | dB(A) |
| GHC200 | 215 | ＜2×10-2 | 100 | 40 | 208/380 | 7.5 | 2.7 | 2.7 | 22-44 | 265 | ＜70 |
| GHC500 | 510 | ＜2×10-2 | 100 | 40 | 208/380 | 11 | 6 | 6 | 44-96 | 411 | ＜70 |
| GHC600 | 680 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 12 | 2.3 | 3 | 22-44 | 468 | ＜70 |
| GHC1200 | 1200 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 12 | 3 | 4.1 | 44-96 | 468 | ＜70 |
| GHC1800 | 1800 | ＜5×10-3 | 160 | 40 | 208/380 | 12 | 3.5 | 4.2 | 44-96 | 488 | ＜70 |
| GHC3000 | 3300 | ＜5×10-3 | 160 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 827 | ＜70 |
| GHC5000 | 4480 | ＜5×10-3 | 200 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 928 | ＜70 |
| GHC6000 | 5500 | ＜5×10-3 | 250 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 973 | ＜70 |
産品尺寸
| 型号Model | 長（mm） | 寬（mm） | 高（mm） |
| GHC200 | 1150 | 440 | 520 |
| GHC500 | 1240 | 580 | 620 |
| GHC600 | 901 | 396 | 787 |
| GHC1200 | 901 | 396 | 787 |
| GHC1800 | 901 | 396 | 787 |
| GHC3000 | 1000 | 517 | 970 |
| GHC5000 | 1000 | 517 | 970 |
| GHC6000 | 1100 | 517 | 970 |
抽速曲線
微信公衆号
北京通嘉宏瑞科技有限公司
電話: 010-86229784
總部地址: 北京市通州區馬駒橋鎮科創十五街1号院
河北基地：河北省廊坊市固安縣南開發區環保産業園4号樓
湖北基地：湖北黃岡市黃州區華海大道1号
浙江基地：紹興市濱海新區瀝海街道繁榮路11号越興科技園6号樓
深圳基地：深圳市坪山區蘭竹東路8号多彩工業園2棟
無錫基地：無錫市錫山經濟技術開發區蓉洋一路3号6号樓
上海基地：上海市浦東新區畢升路299弄富海商務苑9号樓
闵行基地：上海市闵行區綏江路99号金地威新達闼人工智能創新産業基地4号樓