多級羅茨真空泵 GLR系列
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝，并且可靠性高，使用成本極低
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示、LED、锂電和太陽能光伏等行業
詳細描述
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝，并且可靠性高，使用成本極低
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示、LED、锂電和太陽能光伏等行業
應用挑戰及應用領域
| 工藝 | 冷凝 | 推薦産品 | |
| loadlock | GLR | ||
| Transfer | GLR | ||
| PVD | GLR | ||
| Coater | Y | GLR | |
技術參數
| 型号 | 最大抽速 | 極限真空 | 進氣口徑 | 排氣口徑 | 電源電壓 | 額定功率 | 運行功率 | 冷卻水 | 氮氣 | 重量 | 噪音 |
| Model | （m3/h） | (mbar) | （ISO） | （NW） | （V） | （kw） | （KW） | （L/m） | （slm） | （kg） | dB(A) |
| GLR120 | 110 | ＜2×10-2 | NW50 | 40 | 208/380 | 2.2 | 0.45 | 1.5-3 | 10~12 | 60 | ＜60 |
| GLR500 | 550 | ＜8×10-2 | 63 | 50 | 208/380 | 15 | 5.7/6.0 | 6 | 8-100 | 350 | ＜70 |
| GLR1800 | 2180 | ＜7×10-3 | 160 | 50 | 208/380 | 26 | 6.7/7.0 | 6-9 | 8-100 | 680 | ＜70 |
| GLR2000 | 2300 | ＜7×10-3 | 160 | 50 | 208/380 | 26 | 6.9/7.2 | 6-9 | 8-100 | 750 | ＜70 |
| GLR3000 | 3450 | ＜3×10-3 | 160 | 50 | 208/380 | 26 | 7.2/7.5 | 6-9 | 8-100 | 820 | ＜70 |
産品尺寸
| 型号Model | 長（mm） | 寬（mm） | 高（mm） |
| GLR120 | 603 | 250 | 340 |
| GLR500 | 1310 | 620 | 680 |
| GLR1800 | 1310 | 620 | 1000 |
| GLR2000 | 1310 | 620 | 1002 |
| GLR3000 | 1310 | 620 | 1002 |
抽速曲線
微信公衆号
北京通嘉宏瑞科技有限公司
電話: 010-86229784
總部地址: 北京市通州區馬駒橋鎮科創十五街1号院
河北基地：河北省廊坊市固安縣南開發區環保産業園4号樓
湖北基地：湖北黃岡市黃州區華海大道1号
浙江基地：紹興市濱海新區瀝海街道繁榮路11号越興科技園6号樓
深圳基地：深圳市坪山區蘭竹東路8号多彩工業園2棟
無錫基地：無錫市錫山經濟技術開發區蓉洋一路3号6号樓
上海基地：上海市浦東新區畢升路299弄富海商務苑9号樓
闵行基地：上海市闵行區綏江路99号金地威新達闼人工智能創新産業基地4号樓