産品與服務
● GLR系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝，并且可靠性高，使用成本極低
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示、LED、锂電和太陽能光伏等行業
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝；
● 可靠性高，使用成本極低；
● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。
● GS系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于太陽能光伏等
| 分類 | 工藝 | 冷凝 | 熱解 | 粉塵 | 推薦産品 |
| 拉晶 | 拉晶 | Y | GS-S系列 | ||
| 電池片 | PECVD | Y | GS系列 | ||
| ALD | Y | Y | GS系列 | ||
| LPCVD | Y | GS系列 |
● GHC系列幹泵，可應用于清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程，處理粉塵能力極強，是苛刻工藝應用 的優選，并且可靠性高，使用成本極低。
● 适合多樣化市場，廣泛應用于半導體、面闆顯示等行業。
● 适用于質譜分析、痕量元素分析、電子顯微鏡，科研設施等場景
● GTP-90 儀器分子泵是儀器用小型高真空分子泵，爲質譜儀等高端儀器的關鍵功能部件，爲儀器提供潔淨的超高真空環境。具有體積小、抽速大、極限真空度高、振動小、智能化自動保護、可靠性高和任意角度安裝等優點，可以獲得潔淨的高真空環境。
● 适用于檢漏、環境監測、科學分析等場景
● GTP-90D 儀器分子泵是檢漏儀用小型高真空分子泵，具有多個進氣口，又叫分流式分子泵，屬于高端儀器用分子泵。具備同時爲多腔室同時抽氣的能力，用戶隻需采購一台泵即可起到以往 2~3 台泵的效果，有效的降低用戶使用成本，結構緊湊，可定制設計，接口靈活，操作方便
● 适用于科學儀器、檢漏儀、質譜分析、掃描電鏡
● 高轉速，振動小、噪聲小、壽命長、節能
● 适用于泛半導體裝備、光學鍍膜、硬質塗層設備
● 脂潤滑分子泵，可任意角度安裝、壽命長、節能
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