多級羅茨真空泵 GMR系列
- 詳細描述
- 規格參數
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- 商品名稱: 多級羅茨真空泵 GMR系列
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝； ● 可靠性高，使用成本極低； ● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。 <img src="static/picture/a35a892a-ae1c-453a-991d-3fca454a0fcf.jpg" alt="圖片名稱" title="圖片名稱">
● GMR系列幹泵，可應用于清潔工藝以及一般嚴苛工藝；
● 可靠性高，使用成本極低；
● 主要适用于半導體行業刻蝕與離子注入工藝腔。外形尺寸
型号Model
長(mm)
寬(mm)
高(mm)
GMR200
695
290
434
GMR600
695
290
706
GMR1200
695
290
706
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技術參數
型号
Model最大抽速
m3/h極限真空
(mbar)進氣口徑
ISO排氣口徑
NW電源電壓
V額定功率
kW運行功率
kW冷卻水
L/min氮氣
slm電源輸入
接口重量
kg噪音
dB(A)GMR200
210
0.005
ISO63
NW25
208/380
1.9
0.7
1.9
20~40
HAN 40A
140
<63
GMR600
610
0.005
ISO100
NW25
208/380
3.8
1.1
2.1
20~90
HAN 40A
250
<63
GMR1200
1050
0.005
ISO100
NW25
208/380
3.8
1.3
2.1
20~90
HAN 40A
250
<63
抽速曲線
産品詢價
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